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瑞奇戈德一DDA的物理结构

2021-12-14 1167


在无损检测和医疗诊断领域,探测器阵列由于成像区域大、图像几何畸变小、转换效率高、信噪比优良等特性,近年来得到了快速的发展。半导体阵列成像技术可以方便的实现数字化,所以这种成像技术经常被称之为射线数字成像技术,相应的射线探测器称为数字探测器阵列,简写为DDA。

一、结构特点

目前,大幅面、阵列式图像传感器主要是CMOS图像传感器和a-si:H TFT图像传感器。从CCD图像传感器的工作原理和制造成本考虑,不宜用作DDA的图像传感器.

1.图像传感器

CMOS图像传感器由于受晶圆直径的限制目前只能做到100mm×100mm的中等大小尺寸,制作更大尺寸的DDA时需要使用传感器拼接技术。两块传感器拼接,在连接区域不可避免的会存在像素缺失(至少缺1列或1行);四块传感器拼接时,在中心区域会形成超过4个以上像素的“盲区”。因像素缺失和盲区的存在,会造成图像的纹理变形和区域信息丢失,如下图所示:

a)列丢失
b)行丢失

探测器拼接引起的像素丢失

从理论上讲,这些丢失的像素可以视为坏像素,可以使用坏像素校正的方法进行弥补,但对细节检出的影响总是不能让人放心。